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更新時間:2023-11-13
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氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室維修故障及處理
1、燈絲無法正常啟動,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,消除短路現(xiàn)象。
2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進行定位,交由維修ZX處理。
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